樹脂キャリア
アラミドキャリア
アラミド不織布にエポキシ樹脂を含浸させたアラミド積層板を使用したキャリアです。 金属元素の含有量が少なく、被研磨物への影響が殆どありません。 スクラッチ不良発生率が非常に低く、また耐摩耗性に優れて、長時間の連続使用が可能です。
シリコンウエハー・ハードディスク・化合物半導体の研磨に特に適しています。
ＡＰＡキャリア
ポリエステル基材を、アラミドプリプレグでサンドした材料を使用したキャリアです。 アラミドキャリアに匹敵する高い研磨品質を可能にし、ワーク端面も非常に美しく仕上がります。 引き裂き強度に優れ、ご使用条件によってはアラミドキャリア同等の連続使用が可能です。
ハードディスク・光学ガラス・フォトマスクなどの研磨に特に適しています。
ＥＧ（エポキシガラス）キャリア
ガラス織布にエポキシ樹脂を含浸させた積層板を使用したキャリアです。 曲げ強度、及び弾性率が非常に高く、高トルクでのご使用にも十分対応できます。 また、当社のＥＧ材料はキャリア専用に開発したものであり、板厚精度が非常に優れております。
シリコンウエハー・ハードディスク・液晶ガラスなどの研磨に特に適しています。
上記の他、塩ビ（ポリ塩化ビニール）・ポリカーボネート・フェノール・カーボン・ジュラコン・ユニレートなどの樹脂材料も豊富に取り揃えており、実績も豊富です。
金属キャリア
ステンレス（ＳＵＳ）キャリア
耐蝕性に優れ、強度があり、シリコンウエハーなどの研磨に適しています。
スチール（ＳＫ）キャリア
剛性に優れており、石英ガラスなどの研磨に適しています。
チタン（ＴＩ）キャリア
金属汚染が少なく、シリコンウエハーなどの研磨に適しています。
関連商品として、ドレスキャリア・ブラシキャリア・ＤＳＰキャリア・テンプレート・ピンスリーブなど、研磨装置周辺部品も各種取り揃えております。